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        應用說明

        
    CORESIC? RBS H/RBE H/RBP H碳化硅陶瓷是使用高純碳化硅原料經5N高純多晶硅料于高溫下滲透所制造的高強度反應燒結碳化硅陶瓷部件，主要應用于太陽能電池片的熱制程和鍍膜制程中。其致密度高，具高強度、高熱導率、抗氧化性強、耐強酸腐蝕以及耐高溫的優異性能，即便在1300℃的工作環境下重復使用中也不會變形，有助于提高擴散工藝、氧化退火工藝、LPCVD工藝、PECVD工藝的產品質量和制造效率。

        
        應用場景



        
    
        
        
        
    
        
            
        擴散爐
            

        
    
        
    擴散爐

        

        

        
        
        
    
        
            
        太陽能電池
            

        
    
        
    太陽能電池

        

        

        
    
        
    
        
        
            
        
        
    
        

    
    
    
    


        
 
        
    
        

        


            
        
            
        
    
        

        

        


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