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        應用說明


        CORESIC? 碳化硅陶瓷材料的高強度、高硬度、高彈性模量、高導熱系數、低熱膨脹系數等,以及良好的比剛度和光學加工性能,特別適合用于半導體裝備中使用的精密陶瓷結構件。

        應用場景


        光刻機設備

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