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        應用說明


        CORESIC? 碳化硅陶瓷材料的優良力學性能,如高強度、高硬度、高彈性模量等,特別適合用于光電照明外延片制造中的ICP刻蝕工藝, PVD工藝,RTP工藝,CMP工藝用載盤等精密陶瓷結構件。

        應用場景


        LED外延片

        LED

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