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        應用說明

        
    CORESIC? 碳化硅陶瓷材料的優良力學性能，如高強度、高硬度、高彈性模量等，特別適合用于光電照明外延片制造中的ICP刻蝕工藝, PVD工藝，RTP工藝，CMP工藝用載盤等精密陶瓷結構件。

        
        應用場景



        
    
        
        
        
    
        
            
        LED外延片
            

        
    
        
    LED外延片

        

        

        
        
        
    
        
            
        LED
            

        
    
        
    LED

        

        

        
    
        
    
        
        
            
        
        
    
        

    
    
    
    


        
 
        
    
        

        


            
        
            
        
    
        

        

        


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